Institut fuer Mikrostrukturtechnik. Ergebnisbericht ueber Forschung und Entwicklung 1994

The activities developed by the Institute of Microstructure Engineering deal exclusively with the further development and industrial application of microsystems technologies. For the production of structures, priority is given to the LIGA method with its different process variants. Parallely to that mechanical microproduction is pursued where structures are produced by chip-forming methods. The main research activities developed by the IMT can be summed up as follows: further development and standardization of process technologies to expand application possibilities and improve structure quality and output; development of prototypes in the pre-competition area in cooperation with the industry to demonstrate the possibilities and efficiency of structuring methods; buildup of a small-batch production to proof industrial relevance, and putting of microstructural components or microsystems to industrial uses; elaboration of system engineering bases with a view to optimum system solutions. (orig./MM)Die Arbeiten des Instituts fuer Mikrostrukturtechnik (IMT) befassen sich ausschliesslich mit der Weiterentwicklung und der industriellen Anwendung der Mikrosystemtechnik. Dabei wird zur Strukturerzeugung schwerpunktmaessig das LIGA-Verfahren mit seinen verschiedenen Prozessvarianten eingesetzt. Parallel dazu wird die mechanische Mikrofertigung verfolgt, bei der die Strukturerzeugung durch spanabhebende Methoden erfolgt. Die Forschungsaktivitaeten des IMT lassen sich mit folgenden Hauptzielrichtungen zusammenfassen: 1. Weiterentwicklung und Standardisierung der Prozesstechnologien zur Erweiterung der Anwendungsmoeglichkeiten und zur Verbesserung der Strukturqualitaet und der Ausbeute. 2. Entwicklung von Funktionsmustern im vorwettbewerblichen Bereich in Zusammenarbeit mit der Industrie zur Demonstration der Moeglichkeiten und der Leistungsfaehigkeit der Strukturierungsverfahren. 3. Aufbau einer Kleinserienfertigung zum Nachweis der industriellen Relevanz und Ueberfuehrung von Mikrostrukturkomponenten oder Mikrosystemen in industrielle Anwendungen. 4. Erarbeitung systemtechnischer Grundlagen im Hinblick auf optimale Systemloesungen. (orig./MM)Available from TIB Hannover: ZA 5141(5532) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEDEGerman