Quantitative analysis with electron microprobes and secondary ion mass spectrometry

A short review is given on the most convenient methods for quantitative microprobe analysis.Entsprechend dem Wunsche des Veranstalters dieser Diskussionstagung soll in einem ersten Beitrag eine Einführung gegeben werden in die konventionellen Methoden der quantitativen Mikrosondenanalytik.Es darf wohl angenommen werden, daß bei der praktischen Arbeit mit einer Mikrosonde etwa die Hälfte der Zeit mit qualitativer und halbquantitativer Arbeit ausgefüllt ist und daß in der anderen Hälfte quantitative Analysen durchzuführen sind. In den beiden letztgenannten Fällen ist die Strahlung des zu identifizierenden Elements A zweimal zu messen: Einmal die Intensität I$^{A}_{Probe}$ , der A-Strahlung aus der zu untersuchenden Probe, zum anderen die Intensität I$^{A}_{Element A}$ der A-Strahlung aus dem reinen Element A. Es gilt $\frac{I^{A}_{Probe}}{I^{A}_{Element A}}$ (1) und die Aufgabe besteht darin, aus dem Verhältnis K$^{A}$ die Gewichtskonzentration c$_{A}$. der A-Atome in der Probe zu bestimmen. Die oben erwähnte halbquantitative Methode besteht darin,daß man in einer ersten Näherung K$^{A}$ = c$_{A}$ setzt. Der dabei auftretende Fehler kann sehr groß sein und hängt vor allem von der Stellung der beteiligten Elemente im Periodensystem ab (vgl. Anhang!). Diesen Fehler zu korrigieren und zwar so, daß er schließlich nur noch etwa $\pm$ 5 % oder weniger beträgt, ist Aufgabe der quantitativen Analyse, die ja das Thema dieser Diskussionstagung bildet. Zur Durchführung der Korrektur gibt es grundsätzlich zwei Wege, einenrechnerischen und einen experimentellen. Hier soll zunächst der rechnerische behandelt werden