HISTORY OF QUANTITATIVE ELECTRON PROBE MICROANALYSIS

La microanalyse quantitative est basée sur un ajustement empirique à des modèles simples de l'interaction électron-cible. L'exactitude de l'analyse dépend de la mesure de l'émission de témoins homogènes et bien caractérisés. L'utilisation de meilleurs témoins et d'ordinateurs plus performants permet d'abandonner des modèles simplistes et d'améliorer la qualité de l'ajustement. On peut aussi inclure des processus de second ordre tels que l'excitation des Rayons X par des électrons secondaires de haute énergie précédemment négligée.Quantitative microanalysis is based on empirical adjustment of simple models of electron-target interaction. The accuracy of analysis depends on measurements of X-ray emission from homogeneous well-characterized standard materials. As better standards and larger and faster computers become available, simplistic models can be replaced and the quality of adjustment improved. It is also possible to include some secondary processes such as excitation of X-rays by high-energy secondary electrons which were overlooked in the past