低コストでプラズマ処理の表面改質能力を大幅向上 : ヒーター加熱の効果でフッ素樹脂と異種材料の強力接着を実現

大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻の山村和也教授、附属超精密科学研究センターの大久保雄司助教らと兵庫県立工業技術センターの柴原正文研究員、長谷朝博研究員、本田幸司研究員らの研究グループは、フッ素樹脂に対して、ヒーターで加熱しながらプラズマ処理（熱アシストプラズマ処理）することで、低コストで高接着性が得られることを明らかにしました。これまでの研究では、高電力を印加してプラズマ処理中のフッ素樹脂の表面温度を上昇させて高接着性を得ていました。しかし、高電力を維持したままプラズマ処理範囲を大面積化しようとすると、装置の改造費用が高額となるため、実用化する上で大きな障壁となっていました。今回、山村和也教授らの研究グループは、プラズマ処理と加熱機構を分離し、低電力であってもヒーターで加熱すれば高接着性が得られることを実証しました。装置改造の制約条件が大幅に緩和されて低コスト化が可能となったため、実用化に向けて大きく前進したと言えます。本研究成果は、Nature Publishing Group（NPG）の英国科学誌「Scientific Reports」において、8月25日（金）18時（日本時間）に公開されます。本資料は2017年8月24日にプレスリリースされたものである