Automobile Informationssysteme zum Erhalt der Mobilitaet. Teilvorhaben: Hochintegrierte mmW-Module fuer 77 GHz-Multifunktionssensoren 3. Jahresbericht (Schlussbericht)

The present report describes the technical insights obtained during the project period from 1st March 1996 until 31st December 1998 in order to realise mm-wave modules in the frequency range from approximately 40 GHz to 90 GHz considering the marginal conditions of an automated series production e.g. HF-sensors in the field of automobile industry. Thus it could be proved that the mm-wave circuits developed during this period can be produced applying the semi-conductor technology (PH 15=0.15 #mu#g gate length) with very high yield (#>=#90%) processed by the technology partner UMS and have an excellent long-term stability. Two approaches have been investigated and realised for the set-up of the mmwave modules. Based on the monolithic-integrated circuits in the field of micro-stripes technology concepts for set-up and connection technology have been successfully developed and tested. The necessary adjustment of the circuits (MIC and MMIC) was integrated in the production process and it could be proved, that a yield increase of more than 20% can be achieved with the module production. (orig.)Der vorliegende Bericht beschreibt die waehrend der Vorhabenslaufzeit vom 01.03.1996 bis 31.12.1998 erarbeiteten technologischen Erkenntnisse zur Realisierung von mmWellen-Modulen im Frequenzbereich von ca. 40 GHz bis 90 GHz unter den Randbedingungen einer automatisierten Serienfertigung wie z.B. HF-Sensorik fuer die KFZ-Industrie. So konnte nachgewiesen werden, dass die in diesem Zeitraum entwickelten mmWellen-Schaltkreise mit der bei dem Technologiepartner UMS prozessierten Halbleitertechnologie (PH 15=0.15 #mu#g Gatelaenge) mit sehr hoher Ausbeute (#>=#90%) gefertigt werden koennen und eine ausgezeichnete Langzeitstabilitaet aufweisen. Fuer den Aufbau von mmWellen-Modulen wurden zwei Ansaetze untersucht und realisiert. Zum Einen wurden auf der Basis von monolithisch integrierten Schaltungen in Mikrostreifenleitungs-Technik Konzepte fuer die Aufbau- und Verbindungstechnik entwickelt und erfolgreich getestet. Die erforderliche Anpassung der Schaltkreise (MIC und MMIC) wurde in de Fertigung implementiert und es konnte nachgewiesen werden, dass dadurch eine Ausbeuteverbesserung bei der Modulfertigung von ueber 20% erzielt werden kann. (orig.)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F00B539+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung und Forschung (BMBF), Bonn (Germany)DEGerman