TEM and STM investigations of Antimony particles deposited on graphite by Molecular Beam Deposition and Low Energy Cluster Beam Deposition

Molecular Beam Deposition and Low Energy Cluster Beam Deposition of antimony on graphite are used to produce small supported particles. Parallel TEM and STM investigations of these particles have been performed in order to characterize the first stage of growth. Differences in the growth modes are observed depending on the deposition technique: in the case of cluster deposition the film builds up by juxtaposition of 3D amorphous particles whereas molecular deposition leads to a competition between 2D and 3D growing mode. In addition mobility of the antimony supported particles on graphite surface has been evidenced.Les faisceaux d'espèces moléculaires ou d'agrégats de faible énergie sont utilisés pour l'élaboration de films minces supportés. Une caractérisation par TEM et STM de particules d'antimoine déposées sur graphite par les deux techniques (Molecular Beam Deposition et Low Energy Cluster Beam Deposition), a été réalisée dans le but d'étudier les premières étapes de la croissance. Selon la technique de dépôt utilisée, différents modes de croissance sont observés: dans le cas du dépôt par jet d'agrégats, le film se forme par juxtaposition de particules tridimensionnelles et amorphes tandis que dans le cas du dépôt par jet moléculaire une compétition entre une croissance 2D et une croissance 3D a lieu. Par ailleurs une mobilité des particules d'antimoine déposées sur le graphite est mise en évidence