Vergleichende Untersuchung des Einflusses der Laser-Burst-Bearbeitung auf das Abtragsverhalten

Die Burstbearbeitung mittels Ultrakurzpulslaserquellen bietet im Vergleich zur konventionellen Laserbearbeitung den Vorteil einer höheren Abtragsrate, bei einer gleichzeitig hohen Oberflächenqualität. In dieser Arbeit werden die Auswirkungen der Laserburstbearbeitung auf das Abtragsverhalten evaluiert sowie die Anwendbarkeit der Burst-Bearbeitung in Hinblick auf einen möglichen Einsatz in der Mikrostrukturierung analysiert. Das Potenzial dieser Technologie soll anhand der für die Mikrofertigung üblichen Materialien Messing, Titan Grade 2, Vergütungsstahl und Mono-Wolframcarbid aufgezeigt werden. Die Untersuchungen wurden mittels eines Pikosekundenlasers mit einer Wellenlänge von 532 nm durchgeführt. Neben Untersuchungen auf Basis der statistischen Versuchsplanung zur Ermittlung der Prozessgrenzen bzw. der optimalen Parametersätze, unter Berücksichtigung einer hohen Abtragsrate und einer geringen Oberflächenrauheit, beinhaltet diese Arbeit u. a. Abtragsversuche zur Generierung von Mikrodemostrukturen, um die ermittelten Parametersätze zu verifizieren