Plasma-induced ionization waves

Die Dissertation beschäftigt sich mit der Untersuchung eines Plasma Jets bei Atmosphärendruck. Im Prinzip erzeugt man eine "kalte Flamme" welche aus dem offenen Ende des Rohres expandiert. Für eine Charakterisierung dieses Plasma Jets bei Atmosphärendruck werden die Parameter der Entladung bestimmt. Dafür wird die zweidimensionale optische Emissionsspektroskopie verwendet, dabei wird die Intensität zweier Übergänge von Stickstoff gemessen. Aus dem Verhältnis der beiden Intensitäten wird das reduzierte Elektrische Feld und die Elektronendichte berechnet. Der Plasma Jet erzeugt erhebliche Oberflächenmodifikationen auf Siliziumoberflächen. Mithilfe verschiedener Mikroskope werden die Spuren auf dem Silizium untersucht, sowohl ihre Struktur als auch ihre chemische Zusammensetzung. In einer planaren DBD werden die gleichen Modifikationen beobachtet