Properties of Germanium Composited Lithium Phosphate Solid Electrolyte Thin Film

固体电解质，作为一种具有离子导电性的固态物质，其应用已经渗透到很多的领域，如新型固体电池、高温氧化物燃料电池、离子传导型传感器件和太阳能电池等。其中固体电解质在锂离子电池中有着极其重要的应用，其固态性质可以大大提高锂离子电池的安全性，并且使手机等电子设备实现超长待机。在此之前研究较多的固体电解质薄膜为无定形态的LiPON，其离子电导率已达到1×10-6~3×10-6S/cm。通过在磷酸锂中掺杂氮元素，改善了磷酸锂本身较差的离子电导率（~10-18S/cm）。近期，锗元素和硫元素已经被引入非薄膜态的固体电解质，并且已经得到了比较理想的结果。本论文在此基础之上，通过射频磁控溅射方法实现了对磷酸锂的...Solid electrolyte has been intensively applied to kinds of fields, such as new type of solid cells, ionic conduction sensors, solar cells and so on. Among them, the application of solid electrolyte in lithium ion batteries (LIBs) is very important, due to the safety issue. Now, the mostly researched solid electrolyte thin film is the amorphous LiPON, which presents the ionic conductivity as high a...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_微电子学与固体电子学学号：1982012115278