Research on key technology for VLED

LED（发光二极管）作为一种高效、绿色和节能的固体光源正在逐渐取代传统的白炽灯。目前，在数码产品、照明、通信、指示等诸多领域，对LED的需要越来越多，同时对于LED的性能需求也越来越高，这就刺激了LED迅速向着更高性能的方向发展。 垂直结构LED作为LED中的一种，具有亮度高和散热好的特点，在特殊照明上具有独特的优势，成为大家研究的一个热点。 本课题主要是研究垂直结构LED制程中的两个关键工艺：1、压印工艺：一种制作图案的工艺；2、键合工艺：一种将GaN外延连接到另一种衬底上的工艺； 制作图案一般采用光刻工艺，但是光刻工艺受到光学波长的限制，不能做出纳米级的图案。本课题研究的压印工艺的目...LED (light emitting diode) as a kind of high efficiency, green and energy saving solid light source is gradually replacing the traditional incandescent lamp. At present, in many fields, such as digital products, lighting, communications, instructions, etc., mess quality and high performance for LED both are required, which stimulate the LED rapidly towards the direction of the development of highe...学位：博士后院系专业：物理科学与技术学院_凝聚态物理学号：201317005