The Study of Fabrication Technology for Absorption Layer and Mo Electrode based CIGS Thin-Film Solar Cell

铜铟镓硒薄膜太阳电池是现今薄膜太阳电池领域发展前景最好的电池之一。在当前的薄膜电池产业化领域中，溅射后硒化技术适合于大面积规模化制备CIGS薄膜电池。本论文分两部分内容，第一部分是围绕溅射后硒化法两步工艺制备高质量的Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)薄膜，并对CIGS薄膜性能进行了研究。第二部分是，在CIGS吸收层与Mo电极整合过程中，系统研究了Mo电极的制备工艺在硒化热处理中存在的技术问题。 第一部分利用CuGa(3:1at%)合金靶和单质In靶双靶交替磁控溅射制备CuInGa金属预制层，研究了预制层的溅射参数对薄膜组分及微观形貌的影响，从而为CIGS薄膜后续的硒化处理调控出合适的...Copper indium gallium selenide (CIGS) thin film solar cell is now one of prospective development thin film solar cells. In thin-film solar cells industry, sputtering and selenization technology was suitable for large scale preparation of CIGS thin film cells. This article was divided into two parts, the first part studying sputtering and selenization method with two step processes for fabricating ...学位：理学硕士院系专业：能源研究院_光伏工程学号：3242012115211