Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния. Автореферат диссертации

Alexander V. Vasyukov Equipment and a technological process of monosilane production from apatite processing waste for the polycrystalline silicon manufactureЦелью работы является разработка высокоэффективного технохимического оборудования и технологического процесса получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния гидрогенизацией тетрафторида кремния в эвтектическом расплаве солей. = The aim of the work is the development of a highly efficient technological process of monosilane synthesis from apatite processing waste for a polycrystalline silicon manufacture by the silicon tetrafluoride hydrogenation in the ionic melt of salts