Im Durchlauf: Inline-Prüfung von gekrümmten Oberflächen und Beschichtungen

Die Elllipsometrie ist ein Verfahren, das sich zur Messung ultradünner Schichten eignet. Allerdings ist das Verfahren in herkömmlichen Aufbauten nicht oder nur in Ausnahmefällen bei gekrümmten Oberflächen anwendbar. Vorgestellt wird ein als Prototyp entwickeltes Prüfsystem, das die Einschränkungen überwindet und zum Beispiel keine präzise Ausrichtung der Komponenten relativ um Prüfling verlangt. Es werden auch Polarisationsmessungen an gekrümmten Oberflächen möglich. Das Prüfsystem wendet das Prinzip der Retroreflexion an und ist aufgebaut als Inline-Prüfsystem im Durchlauf mit zeilenweisem Abtasten der Oberfläche. Sender und Empfänger sind nicht separat, sondern in einer Sensoreinheit zusammengefasst, sodass auch bei starken Neigungsänderungen der Oberfläche mithilfe der Retroreflexion Messungen stattfinden können. Der Laserscanner befindet sich in der Einheit, die Sender- und Empfänger enthält, dem Transceiver. Gemessen wird die Polarisationsänderung des reflektierten Lichts und darüber werden die optischen Eigenschaften bestimmt. Mehrere Polarisationsbilder ermöglichen die ortsaufgelöste Bestimmung der Schichtdicke. Das Prüfsystem verfügt darüber hinaus über ein größeres Sichtfeld als die herkömmliche Ellipsometrie und ermöglicht eine 100-%-Qualitätsprüfung