Optical micromachining tool

Der Trend der Miniaturisierung und die zunehmende Komplexität erfordern neue innovative Fertigungstechnologien für die Realisierung individueller Mikrosysteme. Der generativen Mikromanufakturprozess Zwei-Photonen-Polymerisation (2PP), mit dem man winzige Mikroelemente im Bereich von 3-50 \(\mu\)m direkt aus CAD-Dateien erzeugen kann, wird hier mit der Holographisch Optischen Pinzette (HOT) verbunden. HOT ist eine optische Manipulations- und Montagetechnik, welche sehr flexibel integrierbar ist und mit höchster Präzision arbeitet. Die Verwendung eines räumlichen Lichtmodulators (SLM) ermöglicht es hierbei, den einfallenden Laserstrahl beliebig zu modellieren, um gleichzeitig mehrere sogenannte optische Fallen zu erzeugen. Die entwickelte Kombination der 2PP-Fertigung zusammen mit der kontaktlosen HOT-Manipulation und die Entwicklung einer neuartigen Montagetechnik ermöglicht die Herstellung und Assemblierung individueller 3D-Mikrosystemen