Gas chromatography-mass spectrometric identification of impurities in high purity phosphine

Крылов, В. А.
Чернова, О. Ю.
Созин, А. Ю.
Котков, А. П.
Пушкарев, Г. В.
Krylov, V. A.
Chernova, O. Y.
Sozin, A. Y.
Kotkov, A. P.
Pushkarev, G. V.

Open PDF

Open link

Publication date

January 2012

Publisher

Уральский федеральный университет

Journal

issn:2073-1442

Abstract

Методом хромато-масс-спектрометрии исследован примесный состав фосфина высокой чистоты. Идентифицированы примеси постоянных газов, предельных, непредельных, хлорсодержащих и ароматических углеводородов, арсина, сероводорода, силана, германа, их гомологов и алкилпроизводных. Всего обнаружено 60 примесей индивидуальных веществ.The impurity content of high-purity phosphine has been investigated by gas chromatography-mass spectrometry method. The impurities of permanent gases, saturated and unsaturated hydrocarbons, chlorine-containing and aromatic hydrocarbons, arsine, hydrogen sulfide, silane, germane and their homolog and alkyl derivatives were identified. Totally 60 substances were detected