(Z EDP Sciences, Les Ulis

Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

Garrelie, Florence
Jonin, Christian
Catherinot, Alain
Champeaux, Corinne
Baubeau, Emmanuel
Audouard, Eric
Mottin, Stéphane
Laporte, Pierre

January 2001

International audienceLe transport du panache plasma créé par ablation laser femtoseconde d une cibl...

Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

Garrelie, Florence
Jonin, Christian
Catherinot, Alain
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Baubeau, Emmanuel
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Garrelie, Florence
Jonin, Christian
Catherinot, Alain
Champeaux, Corine
Baubeau, Emmanuel
Audouard, Eric
Mottin, Stéphane
Laporte, Pierre

October 2001

Le transport du panache plasma créé par ablation laser femtoseconde d une cible de carbone est étudi...

Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux

J.C. Orlianges
C. Champeaux
A. Catherinot
P. Blondy

January 2003

Les couches de carbone tétraédrique réalisées par ablation laser (PLD) à forte fluence présentent de...

Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux

J.C. Orlianges
C. Champeaux
A. Catherinot
P. Blondy

January 2003

Les couches de carbone tétraédrique réalisées par ablation laser (PLD) à forte fluence présentent de...

Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé (propriété des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF)

ORLIANGES, Jean-Christophe
CATHERINOT, Alain

January 2003

La première partie de ce travail est consacrée au procédé. il y est question des principaux problème...

Ablation laser femtoseconde du carbone : étude du panache plasma et dépôt de couches minces

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J.C. Orlianges
C. Champeaux
A. Catherinot
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Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraedrique amorphe pur et dopé (propriété des couches et intégration dans la fabrication de composants MEMS RF)

ORLIANGES, Jean-Christophe
CATHERINOT, Alain

January 2003

La première partie de ce travail est consacrée au procédé. il y est question des principaux problème...

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