Междучиповые оптические межсоединения на основе кремниевых нано- и микроструктур

Разработаны конструкция и технология изготовления междучиповых оптических межсоединений на кремнии. В качестве светоизлучающих диодов и фотоприемников используются структуры на основе наноразмерного кремния, встроенного в алюмооксидную матрицу. В качестве световодов используются сквозные отверстия кремниевой микроканальной пластины. Изготовлена экспериментальная структура с коэффициентом преобразования по току 0,3 %.Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований