Feedback

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа

  • Федотов, А. К.
  • Жуковский, П. В.
  • Федотова, Ю. А.
  • Колтунович, Т.
  • Максименко, А. А.
  • Ларькин, А. В.
Open link
Publication date
February 2014
Publisher
ГКНТ РБ. Национальный центр интеллектуальной собственности

Abstract

Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из металла и диэлектрика с последующим осаждением на подложку

Extracted data

Related items

Способ получения стоматологического стеклокерамического облицовочного материала
  • Богданович, Ирина Аркадьевна
  • Костюшко, Юрий Леонардович
  • Бобкова, Нинель Мироновна
  • Кузьменкова, Наталия Михайловна
February 2020

Способ получения стоматологического стеклокерамического облицовочного материала, включающий получени...

Способ получения кормовой добавки из верхового торфа
  • Болтовский, Валерий Станиславович
  • Полянков, Виктор Тихонович
  • Карпенко, Виктор Владимирович
  • Белясова, Наталья Александровна
  • Мультан, Юрий Михайлович
  • Погорелова, Юлия Николаевна
  • Цедрик, Татьяна Петровна
  • Полезин, Михаил Алексеевич
  • Федорова, Ольга Ивановна
February 2020

Способ получения кормовой добавки, включающий термообработку субстрата, инокуляцию микроорганизмами ...

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа
  • Федотов, А. К.
  • Жуковский, П. В.
  • Федотова, Ю. А.
  • Колтунович, Т.
  • Максименко, А. А.
  • Ларькин, А. В.
February 2014

Способ получения тонкой пленки с импедансом индуктивного типа, заключающийся в испарении мишени из м...

We use cookies to provide a better user experience.
Data Protection