PENGARUH KONSENTRASI DOPING Fe PADA LAPISAN TIPIS TiO2

Abstrak: Pengaruh konsentrasi lapisan tipis TiO2 : Fe diatas substrat kaca yang ditumbuhkan dengan metode spin coating. Uji karakterisasi film TiO2 : Fe dibuat dari precursor TiCl4, pelarut ethanol, larutan stabilizer berupa etilen glikol dan bahan dopan FeCl3 sebanyak 1%, 2%, 3%, dan 4%. Film TiO2 diputar diatas spin coater dengan laju putaran 1100 rpm selama 4 jam. Film yang diperoleh kemudian dikeringkan pada suhu 100??C. Setelah itu dilakukan annealing pada suhu 400??C masing-masing selama 60 Menit didalam Furnace. Hasil XRD menunjukkan bahwa struktur kristal yang terbentuk dari lapisan tipis TiO2 : Fe adalah brookite. Karakterisasi spektrofotomoeter UV-Vis menunjukkan spectrum transmitansi film optik. Hasil dari transmitansi optik menunjukkan penambahan doping Fe dapat mempersempit nilai energy gap(Eg). Hasil dari SEM menunjukkan ketebalan film TiO2 adalah 1450 nm, dan pada pengujian morfologi masih ditemukan bagian dari lapisan yang belum terdeposisi secara sempurna, hal tersebut menunjukkan bahwa film TiO2 : Fe cenderung tidak homogen