Karakterisasi Lapisan Tipis Titanium Dioksida (TiO2) Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Spin Coating Diatas Substrat Kaca

Pengaruh pemanasan lapisan tipis TiO2 di atas substrat kaca yang ditumbuhkan dengan metode spin coating telah dilakukan. Lapisan tipis TiO2 dibuat dengan mencampurkan TiCl4 sebagai prekursor, etanol sebagai pelarut, dan etilen glikol sebagai stabilizer. Larutan ini kemudian diaduk selama 6 jam agar campuran menjadi homogen dengan menggunakan magnetic stirrer. Lapisan tipis TiO2 dipanaskan dengan variasi suhu mulai dari 300OC, 400OC, 500OC dan 600OC. Berdasarkan hasil pengujian XRD menunjukkan bahwa semakin tinggi suhu pemanasan semakin besar ukuran butir kristal. Hal ini disebabkan karena nilai lebar setengah puncak (FWHM) mengecil seiring dengan pertambahan suhu. Struktur kristal yang terbentuk dari lapisan tipis TiO2 adalah anatase dan brookit. Hasil pengujian Uv-vis menunjukkan suhu pemanasan mempengaruhi turunnya celah pita energi. Semakin tinggi suhu pemanasan semakin kecil celah pita energi yang dihasilkan, yaitu sebesar 3,31 eV pada suhu 300OC dan 2,80 eV pada suhu 600OC. Hasil SEM menunjukkan ketebalan lapisan tipis TiO2 yaitu 2000 nm