Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle: Piezoantriebe im echtzeitfähigen Autofokus-System

In der Halbleiter- und Elektronikfertigung ist der Bedarf an mikroskopischen Prüfverfahren aufgrund des hohen Miniaturisierungsgrades sehr groß. Ähnliche Anforderungen haben auch andere Bereiche wie zum Beispiel die Biotechnologie oder Pharmazie. Konventionelle Mikroskopie-Verfahren können hier jedoch - vor allem wenn hohen Auflösung gefordert ist - nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Dank neuer Hochdurchsatz-Mikroskopiesysteme hat sich das nun geändert. Piezoaktoren als Antriebe in ihren echtzeitfähigen Autofokus-Sytemen spielen dabei eine Schlüsselrolle