Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych opis patentowy nr 222094

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr)62,7(CaF2)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 - 20 minut.Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr)62,7(CaF2)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 - 20 minut