Measuring method for precision parallelism

本发明涉及测量技术,具体地说是一种精密平行度测量的方法,即测量被测物体平整表面与参考平面的相对平行度方法。首先将被测物体安装在具有旋转轴的平台上,令该旋转轴与参考平面垂直;配有光源和摄像机作为测量装置,让镜头对准被测物体的侧面,在摄像机上产生投射在被测物体侧面的反射光成像;设横轴u与纵轴v为成像后的图像坐标系,原点定义在成像后的图像中心,其中被测物体上或下平面与其侧面过纵轴的交汇点为检测点;当被测物体绕旋转轴旋转时、在连续采集情况下通过检测点的图像位置测量值来描述被测物体的平面相对参考平面的平行状态,以确定被测物体相对参考平面的不平行度和调整位置。本发明能正确反映被测物体与参考平面之间的平行关系、调节精度高