Research and Development of Interface A Communication Technology for Semiconductor Equipment

随着半导体集成电路的生产制造向着300mm晶圆的方向发展，半导体工厂自动化系统要求设备能够支持SEMI国际标准和相关的“设备工程能力”（EEC: Equipment Engineering Capabilities），如E-诊断，数据采集，配方管理，故障检测和分类，Run-To-Run控制等上层应用。先进的企业级系统应用给半导体设备通信提出更高的要求，需要获取各种高质量设备数据。传统的半导体设备一直采用SECS/GEM通信方法只能用于传输控制信息，不能有效地支持设备精确生产制造和优化工厂自动生产。 为了解决工厂自动化应用系统对设备数据需求问题，国际半导体设备及材料协会（SEMI: Semiconductor Equipment and Materials International）制定了半导体设备通信标准Interface A ,用于提高半导体生产制造中生产者与工厂设备之间的通信能力，为设备数据采集提供便利的通信接口，帮助生产者获取各种所需的数据。 本文以SEMI Interface A标准为研究对象，实现了Interface A通信方法。首先分析了用于设备数据采集的四个通信标准规范和Web Services通信技术。然后基于设备模型和设备自我描述标准设计了半导体通用设备模型，根据设备认证与授权标准给出了设备安全管理方法，结合数据采集管理标准实现了用户对设备数据采集。为了实现Interface A通信方法，采用了Web Services技术，使用SOAP/HTTP协议方式来传输XML消息。最后设计了Interface A通信测试系统，在该系统的基础上进行了相关测试与验证，并对采集的数据进行分析，结果显示本通信技术可以有效的采集用户所需的数据信息。 本课题的研究对于帮助企业应用系统采集高质量设备数据，增加半导体设备通信能力，具有十分重要的意义