Add to ORKG随着MEMS(微机电系统)技术的发展,对于各种光学元件、压力传感器、加速度计等微型精密元件的年需求量已达数百万。微器件的加工与装配越来越引起人们的关注,许多研究单位对于微器件进行了研究与开发。微小零件的精密加工中存在的主要问题是:如何以微观精度和低成本实现微小零件的加工与装配。近些年来,基于IC工艺和深层X射线技术也被成功用于复杂工艺的微机械零件的加工.但是,对于那些由多个不同材料不同工艺加工而成的微小器件组成的混杂系统,往往需要进行一步或多步的装配.有时也需要将常规元件与微元件装配在一个系统中。这些都需要先进的定位技术和高度灵活的装配仪器.利用常规的设备进行上述操作,实现起来很困难,而且成本很高
[[abstract]]本論文整合了UV奈米壓印技術與傳統離子感應場效應電晶體製程，製作出奈米多通道離子感應場效應電晶體，首先利用UV奈米壓印與反應性離子蝕刻的技術在p-type矽晶片上製作出奈米多通...
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集...
Розроблено технологію створення сенсорної зони в електрохемілюмінесцентній мікрофлюїдній системі з в...
随着MEMS(微机电系统)技术的发展,对于各种光学元件、压力传感器、加速度计等微型精密元件的年需求量已达数百万。微器件的加工与装配越来越引起人们的关注,许多研究单位对于微器件进行了研究与开发。微小零件...
本文设计了一种新颖的微力感知传感器及其标定方法,以获得亚μN(micro Newton)的可靠的、高精度力反馈信息。可靠的、高精度的微力感知和控制在提高微装配的效率上具有重要的作用。目前微装配中...
为了完成一种新颖的亚μN(micro Newton)微力传感器的开发,使其具有可靠的、高精度的微力反馈信息。本文设计出相应的信号处理方法并提出了一种新颖的间接标定方法。该方法首先建立传感器末端受...
[[abstract]]小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大...
该文研制了一种基于MEMS力传感器技术的智能货物绑带装置.攻克了多轴传感器的采集一致性及抗干扰等关键技术,提高了使用过程中传感器的测量信号稳定性及测量可靠性,研发了单片集成多轴MEMS力传感器,阐述了...
[[abstract]]電化學阻抗分析法為一?史悠久、功能強大應用廣泛的分析方法，可用於感測固態、液態及氣態物質之物理及化學現象。因具備量測微小變化能力近幾年更廣泛結合生物感測器應用，藉由在感測器表面...
目前微装配领域还没有可靠的亚微牛(sub-μN)分辨率的传感器。针对这一实际难题,设计了一个基于PVDF的微力传感器,使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应和材料力学中悬臂梁结构,...
目前微装配领域还没有可靠的亚微牛(sub-μN)分辨率的传感器。针对这一实际难题,设计了一个基于PVDF的微力传感器,使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应和材料力学中悬臂梁结构,...
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响,采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后,对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可...
隨著知識的爆炸、網路時代的來臨、頻寬需求量的暴 增， 使得全光網路成為必然的趨勢，DWDM (Dense Wavelength Division Multiplexing) 的發展更使光纖通訊的 優勢...
本文介绍了微力感知的各种方法,分析了每种感知方法的基本原理、检测精度及适用范围,并对微装配与微操作中微力传感器的应用作了简要的回顾。在微操作与微装配中,实现可靠的微力感知是目前研究的重要目标之一。本文...
材料的制备方法和制备设备是研究材料性能及其应用的前提与基础。作为一种极具潜力的纳米碳材料制备技术，μCVD（微型化学气相沉积）系统的研究与开发对促进纳米碳材料和器件的发展具有重要意义。 本文首先从传统...
[[abstract]]本論文整合了UV奈米壓印技術與傳統離子感應場效應電晶體製程，製作出奈米多通道離子感應場效應電晶體，首先利用UV奈米壓印與反應性離子蝕刻的技術在p-type矽晶片上製作出奈米多通...
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集...
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目前微装配领域还没有可靠的亚微牛(sub-μN)分辨率的传感器。针对这一实际难题,设计了一个基于PVDF的微力传感器,使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应和材料力学中悬臂梁结构,...
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响,采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后,对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可...
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