The sol-gel preparation of ITO thin films and investigation of their performance

透明导电薄膜具有透光率高，导电性好，硬度高，红外热反射特性等优点，广泛应用于平板液晶显示器,太阳能电池,触摸屏等不同的光电器件中。目前得到应用的ITO薄膜主要是采用磁控溅射工艺制备的，但成本昂贵。该论文以透明导电热反射薄膜为研究对象，采用制备工艺简单、低成本的溶胶凝胶法制备高质量掺锡氧化铟（ITO）薄膜。 该论文主要工作如下: (1)系统探讨了不同稳定剂的ITO溶胶的稳定性。研究表明，以二乙醇胺为稳定剂的情况下，溶胶的稳定性最好，有利于得到表面均匀的薄膜。 (2)通过DTA-TG, FTIR等分析方法分析了ITO薄膜从不同配位剂的凝胶态向结晶态的转变过程。研究表明，以二乙醇胺为稳定剂情况下，当热处理温度超过409℃时，薄膜的转变过程基本完成，最适合在玻璃基片上制备ITO薄膜。 (3)成功制备了可见光透过率大于80%、表面电阻接近400欧姆的ITO薄膜。 (4)采用化学沉积法制备了ATO/ZnO核-壳结构纳米粒子，分析了该结构的光催化性能