Ce travail a pour thème l'étude de dispositifs SAW à structure multicouche, à savoir, le dépôt de couches minces d'AlN et de diamant et le développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs. Concernant les procédés technologiques, nous avons développé des outils nécessaires pour la réalisation des dispositifs SAW en optimisant les paramètres expérimentaux relatifs à ces procédés. Concernant la croissance de films diamant réalisée par MPACVD, nous avons pu optimiser ce dépôt afin d'obtenir des films présentant les propriétés requises pour les dispositifs SAW. Concernant le dépôt de couches d'AlN réalisé par pulvérisation réactive magnétron, nous avons étudié la croissance afin d'obtenir des couches pi...
AlN/diamond heterostructures are very promising for high frequency surface acoustic wave (SAW) reson...
Cette thèse porte sur la conception et la caractérisation de micro-dispositifs à ondes acoustiques m...
The AlN/diamond structure is an attractive combination for SAW devices and its application at high f...
Ce mémoire avait l'objectif de modéliser, réaliser et caractériser des dispositifs SAW à base de str...
La synthèse de films minces et de multicouches à base de matériaux piézoélectriques, AlN et ZnO, a é...
L'excitation et la propagation des ondes de cisaillement dans les dispositifs à ondes acoustiques de...
Les propriétés piézoélectriques, thermiques, acoustiques et diélectriques du nitrure d aluminium AlN...
L'objectif de cette thèse est la conception d'un capteur de pression à ondes de surface utilisant le...
L'excitation et la propagation des ondes de cisaillement dans les dispositifs à ondes acoustiques de...
L'emploi des alliages d'aluminium dans les industries automobiles et aéronautiques est freiné par un...
Après beaucoup de travail, de nombreuses heures de réflexion, d'idées à améliorer et, des fois, à re...
Les travaux présentés dans ce manuscrit concernent la réalisation et la caractérisation d un capteur...
Ce travail rentre dans le cadre de la caractérisation des couches minces, de revêtements et de surfa...
Ce travail consiste en l étude de couches minces d alumine et d AlN pour leur intégration dans des d...
National audienceDe nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de subst...
AlN/diamond heterostructures are very promising for high frequency surface acoustic wave (SAW) reson...
Cette thèse porte sur la conception et la caractérisation de micro-dispositifs à ondes acoustiques m...
The AlN/diamond structure is an attractive combination for SAW devices and its application at high f...
Ce mémoire avait l'objectif de modéliser, réaliser et caractériser des dispositifs SAW à base de str...
La synthèse de films minces et de multicouches à base de matériaux piézoélectriques, AlN et ZnO, a é...
L'excitation et la propagation des ondes de cisaillement dans les dispositifs à ondes acoustiques de...
Les propriétés piézoélectriques, thermiques, acoustiques et diélectriques du nitrure d aluminium AlN...
L'objectif de cette thèse est la conception d'un capteur de pression à ondes de surface utilisant le...
L'excitation et la propagation des ondes de cisaillement dans les dispositifs à ondes acoustiques de...
L'emploi des alliages d'aluminium dans les industries automobiles et aéronautiques est freiné par un...
Après beaucoup de travail, de nombreuses heures de réflexion, d'idées à améliorer et, des fois, à re...
Les travaux présentés dans ce manuscrit concernent la réalisation et la caractérisation d un capteur...
Ce travail rentre dans le cadre de la caractérisation des couches minces, de revêtements et de surfa...
Ce travail consiste en l étude de couches minces d alumine et d AlN pour leur intégration dans des d...
National audienceDe nombreux travaux ont été consacrés à évaluer l'intérêt de l'utilisation de subst...
AlN/diamond heterostructures are very promising for high frequency surface acoustic wave (SAW) reson...
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The AlN/diamond structure is an attractive combination for SAW devices and its application at high f...