以準分子雷射濺鍍鈦酸鎂鈣(MgCaTiO3)薄膜及應用於MIS光偵測器之研究

[[abstract]]本論文研究氟化氪(KrF)準分子脈衝雷射濺鍍技術(Pulse Laser Deposition)，沉積鈦酸鎂鈣(MgCaTiO3)高介電陶瓷材料於p-type矽基板上，研究雷射能量對MCT薄膜成長速率之影響，分析MCT薄膜結構及表面粗糙度，並利用掃瞄式電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、X光能譜散射儀(EDS)、X光繞射分析儀 (XRD)、拉曼光譜(Raman Spectroscopy)、反射光譜(Reflection Spectrum)、及膜厚掃描儀(Alpha-Step)等材料特性量測，分析準分子脈衝雷射能量對MCT薄膜材料生長之影響及討論，並應用於金屬(Al)-絕緣層(MCT)-半導體(Silicon)MIS元件結構之光偵測器元件製作。研究量測不同波長的光照下電流-電壓、電容-電壓及光響應度之光電特性