[[alternative]]UV-Patternable Polyimide-Inorganic Oxide Hybrid Thin Films and Their Applications on Optical Devices

計畫編號：NSC94-2216-E032-002研究期間：200508~200607研究經費：673,000[[abstract]]有機-無機混成材料因同時具備有機與無機材料的優點而得到廣泛的注意和研究，近年來在積體電路、發光元件，以及電子構裝的應用潛力而成為熱門的研究項目。由於光通信與光積體電路的發展，有機-無機混成薄膜製作的光波導具有優良的耐熱性、機械性質與光學性質等優點，成為重要的研究方向。光波導主要由高折射率的核心與低折射率的包層所組成，光波藉由兩者界面的全反射而傳遞。目前雖已有以光起始聚合法製備有機高分子-無機氧化物混成薄膜，但這些研究所使用的高分子耐熱性較差，無法實際應用於光波導的製作。聚亞醯胺的耐熱性與機械性質較佳，若以感光性聚亞醯胺製備聚亞醯胺-無機氧化物混成薄膜，可提升薄膜的各項性質，並將原本繁雜的微影蝕刻製程簡化。但目前對於此項的研究尚為缺乏。因此本研究將以溶膠-凝膠法結合旋轉塗佈與多段式烘烤固化製程，使用不同形式的感光性聚亞醯胺與不同的無機氧化物，分別製備低折射率與高折射率聚亞醯胺-無機氧化物混成光學薄膜，並對反應條件與各項性質做詳盡的研究。同時利用混成薄膜製作圖案光波導，對於光波導的製作，與塗佈、曝光、顯影等製程條件，以及光波導元件的特性等做詳盡的研究。光波導是光通信與光積體電路最基本的構成結構，感光性聚亞醯胺-無機氧化物混成薄膜則具有此項元件的優勢及潛力，因此對於感光性聚亞醯胺-無機氧化物混成薄膜及光波導的研發是相當重要與急迫性。[[sponsorship]]行政院國家科學委員