Οπτική προφιλομετρία λευκού φωτός

Στην εργασία αυτή γίνεται η παρουσίαση ενός αυτοματοποιημένου οπτικού προφιλόμετρου με την χρήση συμβολομετρίας λευκού φωτός για την καταγραφή του προφίλ επιφανειών. Για την επίτευξη του παραπάνω στόχου, κατασκευάστηκε ένα συμβολόμετρο Michelson και έγινε η πραγμάτωση της αυτοματοποίησης μέσω του γραφικού περιβάλλοντος προγραμματισμού Labview. Αρχικά γίνεται αναφορά στη συμβολή του φωτός, και ειδικότερα στην συμβολή από μερικώς σύμφωνες πηγές φωτισμού. Στην συνέχεια παρουσιάζονται τα δύο βασικά συμβολόμετρα που χρησιμοποιήθηκαν, του συμβολόμετρου Michelson και του συμβολόμετρου Mirau και τα προβλήματα που υπήρξαν στην εφαρμογή τους. Κατόπιν παρουσιάζεται η διαδικασία της αυτοματοποίησης για την καταγραφή των συμβολογραμμάτων με την χρήση κάμερας CCD. Στην συνέχεια αναλύεται ο τρόπος που οδηγούμαστε από την διαμόρφωση των κροσσών συμβολής στο προφίλ της επιφάνειας. Τέλος, υπάρχει η παράταξη μερικών χαρακτηριστικών αποτελεσμάτων από τα δείγματα που εξετάστηκαν, καθώς επίσης και των συμπερασμάτων που προέκυψαν.In this thesis, an automated optical profilometer is presented. The profilometer is using the white light interferometry for the recording of the surfaces profile. For the achievement of the objective, a Michelson interferometer was manufactured as well as the control automation was build using the graphic programming environment of Labview. Initially the theory of light interferometry is presented, with emphasis in the partially coherent lighting sources. Then two basic interferometers that were used are presented, the Michelson interferometer and the Mirau interferometer and the problems that existed in their use. Then, the automation process for the interferograms recording by using a CCD camera is presented. The recorded interferograms are analyzed using a second automation so that the extraction of the profile of a surface from the interferograms is possible. Finally, a set of some characteristic results from the samples that were examined are presented, as well as the conclusions were extracted