Elektrostatische Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosysteme

Das in dieser Arbeit entwickelte Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosystem erzeugt eine wegunabhängige konstante Kraft und kann gleichzeitig die Auslenkung messen. Das Gesamtsystem besteht aus elektrostatischen Kammstrukturen, die beim Anlegen einer Spannung direkt eine konstante Kraft erzeugen, sowie einem nichtlinearen Federsystem, das als Konstantkraft-Mechanismus wirkt und eine konstante Federkraft generiert. Exemplarisch wird mit diesem Mikrosystem das Kriechverhalten bei Verdunstung und die Steifigkeitsänderung an einem Reinstwassertropfen gemessen. Dementsprechend zeigt das entwickelte Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosystem ein großes Potential in der Zellforschung für die Stimulation und Analyse von Zellen