高耐熱で高信頼性の薄膜キャパシタを実現するため,熱的に高安定な化学量論的Al3Hf金属間化合物膜の作製条件を検討すると共に,Al3Hf陽極酸化膜キャパシタを作製し,そのキャパシタ特性や周波数特性および漏れ電流特性を酸化膜厚の低減効果と耐熱性との関連において検討した。その結果,この陽極酸化膜は,化成電圧を10Vまで低減させて酸化膜の薄膜化を図っても,tanδ,TCCにほとんど変化は見られず,かつ5V印加時の漏れ電流は10-9A台と極めて低い値が得られ,十分な薄膜化が可能であった.また耐熱性の点では,酸化膜厚が比較的厚い160V化成のキャパシタでは540℃まで,酸化膜厚が極めて薄い10V化成の場合では450℃まで,キャパシタ特性と漏れ電流特性に熱劣化は見られず,極めて耐熱性に優れていることがわかった。更に,測定周波数を1kHzから1MHzまで変化させても,静電容量に周波数依存性はほとんど見られなかった。以上の結果から,本研究で用いたAl3Hf陽極酸化膜は,高耐熱で高信頼性薄膜キャパシタ用の誘電体材料として極めて有望と結論できる。Copyright (c) by IEICE 許諾番号:09RC0080 IEICE Transactions Online : http://search.ieice.org/index.htm
电容耦合非接触电导检测(C4D)是近几年出现的一种新型电导检测技术,它彻底解决了接触电导检测存在的检测电极易污染、受被测系统高场强电压干扰等问题,已经成功的应用于毛细管电泳检测上,具有广泛的应用潜力。...
[[abstract]]本研究計畫主要利用水膜蒸發潛熱的觀念,應用於BIPV 模組上,一方面保護開口部之玻璃,使之不致於受到高溫而破裂,而將火災傳遞至相鄰空間,產生火災損失;另一方面也可在平時利用水膜...
本论文通过具有不同拓扑结构和化学性质的基底,诱导聚合物薄膜的去润湿行为,控制去润湿的发生过程,达到了制备有序图案的目的。同时探讨了有序图案形成机理以及图案的潜在应用。在物理改性的条纹图案的硅基底上,薄...
Ta2N陽極酸化膜キャパシタの有する高耐熱な特徴が,酸化醇厚を薄くした際にどの程度まで維持できるかを明らかにするため,化成電圧を低減させて作製したキャパシタのtanδ,容量温度係数および漏れ電流特性に...
Ta2Nを用いた陽極酸化膜キャパシタは,耐熱性の向上を図れるが比誘電率の低下を伴うので,このことを回避するため,Ta-Zr合金の陽極酸化膜キャパシタを作製し,その電気的特性に及ぼす熱処理温度の影響と,...
Ta2N陽極酸化膜キャパシタは,Ta陽極酸化膜キャパシタに比べ耐熱性を著しく改善できる。オージェ電子分光分析等によってその原因を検討したところ,下地金属であるTa2N化合物膜自体の耐熱酸化性が大きく,...
毛细管电色谱(CEC)既具有毛细管电泳的高柱效,又具有高效液相色谱的高选择性,形成了自己独特的高效、微量、快捷的特点,近年来已逐渐进入应用领域。 论文基于弛豫理论的基本思想,对溶质在CEC柱中的输运过...
氧化铪薄膜是应用最广泛的高功率激光薄膜,本文着重研究了氧化铪薄膜的制备技术和以及不同的制备技术对薄膜的结构和热力学性能的影响,为提高氧化铪薄膜性能奠定了基础。 本文首先研究了电子束蒸发沉积氧化铪薄膜...
二氧化鉿陶瓷系統薄膜在從2011年開始的研究中被認為具有鐵電性,因此被視為是一種嶄新且有潛力的無鉛鐵電材料。從最開始含有元素摻雜的二氧化鉿系統、二氧化鋯-二氧化鉿陶瓷固溶體系統,直到最近的不含摻雜元素...
本研究分為三個部分,第一部分利用高溫快速成膜法製備PEDOT導電薄膜,討論添加PTAA與PVP對導電度及透明性的影響。第二部分比較不同之ZnO晶種及長晶濃度,討論其對PEDOT以及PEDOT-PTAA...
伴随着社会高速发展,空气污染已经变成一个十分严重的问题。近些年,二氧化氮作为一种能够产生光化学烟雾和酸雨的主要空气污染物而使它的检测受到关注。尤其是室温二氧化氮检测由于能耗低、可以在具有爆炸性气体等复...
[[abstract]]本研究擬探討一些製程參數,如:塗層濃度、塗層次數、塗層乾燥方法等對於塗層厚 度均勻性、塗層沾附狀況、塗層透性氣及模型壓縮量等之影響,以尋求最佳參數組合 ,建立優良消失模型鑄造法...
整体材料是近几年发展起来的一种新型色谱分离介质。它是通过原位聚合或熔凝的方法在色谱柱中形成连续、多孔的整体固定相床层。毛细管电色谱整体柱克服了电色谱开管柱相比不足的缺陷,同时也避免了颗粒填充毛细管柱需...
Исследованы электрофизические свойства тонких наноструктурированных пленок оксида индия. Структура и...
Вивчено зміну електрофізичних властивостей поліметилсилоксанової (ПМС) рідини як такої, що може вико...
电容耦合非接触电导检测(C4D)是近几年出现的一种新型电导检测技术,它彻底解决了接触电导检测存在的检测电极易污染、受被测系统高场强电压干扰等问题,已经成功的应用于毛细管电泳检测上,具有广泛的应用潜力。...
[[abstract]]本研究計畫主要利用水膜蒸發潛熱的觀念,應用於BIPV 模組上,一方面保護開口部之玻璃,使之不致於受到高溫而破裂,而將火災傳遞至相鄰空間,產生火災損失;另一方面也可在平時利用水膜...
本论文通过具有不同拓扑结构和化学性质的基底,诱导聚合物薄膜的去润湿行为,控制去润湿的发生过程,达到了制备有序图案的目的。同时探讨了有序图案形成机理以及图案的潜在应用。在物理改性的条纹图案的硅基底上,薄...
Ta2N陽極酸化膜キャパシタの有する高耐熱な特徴が,酸化醇厚を薄くした際にどの程度まで維持できるかを明らかにするため,化成電圧を低減させて作製したキャパシタのtanδ,容量温度係数および漏れ電流特性に...
Ta2Nを用いた陽極酸化膜キャパシタは,耐熱性の向上を図れるが比誘電率の低下を伴うので,このことを回避するため,Ta-Zr合金の陽極酸化膜キャパシタを作製し,その電気的特性に及ぼす熱処理温度の影響と,...
Ta2N陽極酸化膜キャパシタは,Ta陽極酸化膜キャパシタに比べ耐熱性を著しく改善できる。オージェ電子分光分析等によってその原因を検討したところ,下地金属であるTa2N化合物膜自体の耐熱酸化性が大きく,...
毛细管电色谱(CEC)既具有毛细管电泳的高柱效,又具有高效液相色谱的高选择性,形成了自己独特的高效、微量、快捷的特点,近年来已逐渐进入应用领域。 论文基于弛豫理论的基本思想,对溶质在CEC柱中的输运过...
氧化铪薄膜是应用最广泛的高功率激光薄膜,本文着重研究了氧化铪薄膜的制备技术和以及不同的制备技术对薄膜的结构和热力学性能的影响,为提高氧化铪薄膜性能奠定了基础。 本文首先研究了电子束蒸发沉积氧化铪薄膜...
二氧化鉿陶瓷系統薄膜在從2011年開始的研究中被認為具有鐵電性,因此被視為是一種嶄新且有潛力的無鉛鐵電材料。從最開始含有元素摻雜的二氧化鉿系統、二氧化鋯-二氧化鉿陶瓷固溶體系統,直到最近的不含摻雜元素...
本研究分為三個部分,第一部分利用高溫快速成膜法製備PEDOT導電薄膜,討論添加PTAA與PVP對導電度及透明性的影響。第二部分比較不同之ZnO晶種及長晶濃度,討論其對PEDOT以及PEDOT-PTAA...
伴随着社会高速发展,空气污染已经变成一个十分严重的问题。近些年,二氧化氮作为一种能够产生光化学烟雾和酸雨的主要空气污染物而使它的检测受到关注。尤其是室温二氧化氮检测由于能耗低、可以在具有爆炸性气体等复...
[[abstract]]本研究擬探討一些製程參數,如:塗層濃度、塗層次數、塗層乾燥方法等對於塗層厚 度均勻性、塗層沾附狀況、塗層透性氣及模型壓縮量等之影響,以尋求最佳參數組合 ,建立優良消失模型鑄造法...
整体材料是近几年发展起来的一种新型色谱分离介质。它是通过原位聚合或熔凝的方法在色谱柱中形成连续、多孔的整体固定相床层。毛细管电色谱整体柱克服了电色谱开管柱相比不足的缺陷,同时也避免了颗粒填充毛细管柱需...
Исследованы электрофизические свойства тонких наноструктурированных пленок оксида индия. Структура и...
Вивчено зміну електрофізичних властивостей поліметилсилоксанової (ПМС) рідини як такої, що може вико...
电容耦合非接触电导检测(C4D)是近几年出现的一种新型电导检测技术,它彻底解决了接触电导检测存在的检测电极易污染、受被测系统高场强电压干扰等问题,已经成功的应用于毛细管电泳检测上,具有广泛的应用潜力。...
[[abstract]]本研究計畫主要利用水膜蒸發潛熱的觀念,應用於BIPV 模組上,一方面保護開口部之玻璃,使之不致於受到高溫而破裂,而將火災傳遞至相鄰空間,產生火災損失;另一方面也可在平時利用水膜...
本论文通过具有不同拓扑结构和化学性质的基底,诱导聚合物薄膜的去润湿行为,控制去润湿的发生过程,达到了制备有序图案的目的。同时探讨了有序图案形成机理以及图案的潜在应用。在物理改性的条纹图案的硅基底上,薄...