Fabrication of large-curvature optical elements by ultraprecision cutting under 3-axis numerical control

最近の光学デバイスには大きな曲率をもつ光学部品に対する要求が高くなっている。しかし、従来の２軸制御円弧包絡切削法では大曲率表面の加工が困難である。本研究では、単結晶ダイヤモンド平バイトを用いたXZB 3軸同時制御直線包絡創成法による大曲率光学表面の超精密切削加工を目的としている。直線包絡創成法では、工具先端を加工機のB軸の中心に正確に合わせることが重要となる。そこで、はじめに高精度な工具位置制御機能をもつ圧電駆動式3方向微調整刃物台を製作し、それを使用することにより高精度の工具設定を行った。そして、大きな曲率をもつ楕円面ミラーの試作加工を行い、形状誤差や表面粗さなどを検証した