Determinação De Padrões De Defeito Em Microsensores Tipo Comb-Drive Utilizando Análise Harmônica Em Um Modelo De Elementos Finitos

A tecnologia na área de micromecanismos vem obtendo um avanço considerável nas últimas décadas, particularmente no que diz respeito aos transdutores eletro-mecânicos MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems). Estes dispositivos apresentam, entre outras vantagens, o fato de possuírem uma maior velocidade de resposta, além disso, atualmente já existem técnicas e processos compatíveis de fabricação destas estruturas, tornando mais viável sua produção. Sabe-se, porém, que os processos utilizados na fabricação ainda são deficientes em alguns aspectos, encontrando-se freqüentemente estruturas produzidas que apresentem falhas. Frente a isso, é necessário desenvolver uma metodologia de identificação dessas falhas, que ajudaria num processo de controle de qualidade e confiabilidade dos dispositivos fabricados. Neste trabalho, procura-se determinar a relação entre os padrões do sinal resposta e os tipos de defeitos mais comuns encontrados neste tipo de estrutura. Foi estudado particularmente um dos micromecanismos, chamado comb-drive, utilizado na fabricação de acelerômetros e filtros, entre outros. Para realizar este estudo, foi modelada, com o método dos elementos finitos, a estrutura em análise, obtendo a signature para uma entrada e uma saída pré-definidas, sendo esta a informação acessível na banca de testes deste tipo de componente. Comparando as mudanças da função ganho da estrutura, com e sem defeito, é possível identificar padrões e associá-los aos diferentes tipos de defeitos existentes. Também são mostrados resultados preliminares na implementação de um algoritmo de redes neurais para auxiliar na determinação do tipo e localização dos defeitos. Finalmente conclusões sobre o trabalho são apresentadasGerhardt, D. ; Iturrioz, I. ; Gomes, H. M. ; Ribas, R. P. "Determinação de padrões de defeito em microsensores tipo comb-drive utilizando análise harmônica em um modelo de elementos finitos". Mecánica Computacional, v. 22, p. 921-931, 2003. DOI: https://doi.org/10.5281/zenodo.705460