Fabrication and Characterization of Gas Sensor from ZrO2: MgO Nanostructure Thin Films by R.F. Magnetron Sputtering Technique

الأغشية الرقيقة  ذو تركيب نانوي من ZrO2:MgO  تم تحضيرها باستخدام تقنية الترذيذ ببلازما الترددات الراديوية بنسب مختلفة من MgO كانت (10,8,6,0) % لغرض الاستخدام كمتحسس غازي لغاز ثاني اوكسيد النيتروجين NO2 .العينات المحضرة تم توصيفها باستخدام حيود الأشعة السينية XRD ,مجهر القوى الذرية AFM ,الماسح الالكتروني SEM , تشتت طاقة الأشعة السينية EDX والخواص التحسسية تم تحقيقها أيضا. الحجم الحبيبي للعينات المحضرة وجد اقل من (33.22 nm) والتركيب البلوري كان أحادي الطور. توزيع الحجم الحبيبي على السطح كان اقل من  (36.3 nm) مع تجانس في توزيع الجسيمات على السطح.أخيرا نتائج الخواص التحسسية تم مناقشتها. حيث إشارة النتائج إلى إن التحسسية الغازية وصلت إلى (42.566 %)  عند درجة حرارة (300)  درجة مؤية وزمن استجابة كان (52.2) ثانية مع زمن عودة (135.9) ثانية.Thin films ZrO2: MgO nanostructure have been synthesized by a radio frequency magnetron plasma sputtering technique at different ratios of MgO (0,6, 8 and  10)% percentage to be used as the gas sensor for nitrogen dioxide NO2. The samples were investigated by X-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM), energy-dispersive X-ray (EDX) and sensing properties were also investigated. The average particle size of all prepared samples was found lower than 33.22nm and the structure was a monoclinic phase. The distribution of grain size was found lower than36.3 nm and uninformed particles on the surface. Finally, the data of sensing properties have been discussed, where they indicated that sensitivity reached 42.566% at 300 oC, spectral response time less than 52.2 s and recovery time 135.9 s