Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie noetig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung

Dargestellt werden kurz und übersichtlich die derzeit eingesetzten konventionellen Reinräume und deren konstruktive Ausführung. Über eine Analyse der verschiedenen Kontaminationsquellen und dem Ziel einer kontrollierten Kontamination in Maschinen und Anlagen wird die zwingend notwendige Entwicklung sog. lokaler Reinräume dargestellt. Die Reduzierung der Kontamination durch den Menschen ist durch konsequente Kapselung des Menschen realisierbar, Kontamination durch unkorrekte Handhabung der Substrate durch den Menschen jedoch nur durch konsequente Automatisierung der Fertigungsgeräte im Reinraum möglich. Dies bedeutet in der Praxis, daß durch gezielte Zusammenfassung einzelner Prozeßstationen zu Multiprozeßstationen der Handhabungsaufwand reduziert und damit die Partikelkontamination bei gleichzeitiger Erhöhung der Zuverlässigkeit des Gesamtsystems reduziert werden kann. Ein Merkmal der mit lokalen Reinräumen realisierbaren Fertigungskonzepten ist die konsequente Trennung von Mensch und Substrat sowie die gleichzeitige Verringerung der Reinstraumfläche. Führt man diese Entwicklung weiter, kommt man dahin, nur noch die unmittelbare Substratumgebung hochrein zu halten. Voraussetzung hierfür ist jedoch ein Gesamtkonzept für die Lagerung, den Transport und die geräteinterne Handhabung von Substraten in lokalen Reinräumen. (IPA