Hochgenaue Wegmessung mit Diodenlaser-Interferometer

Es wird ein Zweistrahlinterferometer nach Michelson beschrieben, mit dem Wegmessungen im industriellen Anwendungsbereich durchzuführen sind. Die Besonderheit liegt in der Verwendung eines Halbleiters, der neben den Vorteilen in Preis und Baugrösse erstmals die Möglichkeit bietet, Brechzahleinflüsse der umgebenden Atmosphäre direkt zu kompensieren. Die Einflüsse werden in einer parallel betriebenen Referenzstrecke erfasst und in eine entsprechende Regelung der Laserwellenlänge umgesetzt. (IPM