Qualitätssichere Ultraschallbearbeitung von Silizium - infiltriertem Siliziumkarbid: WGP Kurzberichte 88/97.

Bei der Ultraschallbearbeitung von Keramik stößt ein schwingendes Formzeug Hartstoffkörner auf die bearbeitete Oberfläche. Die Schwingungsamplitude und Vorschubkraft beeinflussen hierbei die erreichbare Bauteilqualität. Die Werte, die zu optimaler Abtragsleistung führen, sind gleichzeitig die Basis für eine qualitätssichere Ultraschallbearbeitung. Denn die Konizität der erstellten Bohrungen wird durch zu großen Suspensionsdurchfluß, durch zu lange Bearbeitungszeiten und letztlich durch die auch diese Größen beeinflussende Schwingungsamplitude vergrößert. Die Vorschubkraft übt hier nur mittelbaren Einfluß über die Änderung des Durchflusses und der Zeit aus. In geringerem Maß wird auch die Oberflächenrauheit von den Stellgrößen beeinflußt, wobei zwischen der Mantelfläche und Bohrungsgrundrauheit zu unterscheiden ist. Große Schwingungsamplituden erhöhen insbesondere die Rauheit der Mantelfläche, während die Rauheit der durch die Stirnfläche des Formzeugs erzeugten Oberfläche auch durch di e Vorschubkraft beeinflußt wird. (IPT