Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium

Aufgabe dieser Arbeit ist es, durch eine systematische Analyse des Innentrennschleifens von einkristallinem Silizium prozeßtechnologische Grundlagenkenntnisse als Basis einer durchgreifenden Verfahrensoptimierung bereitzustellen. Mit dem Ziel gesteigerter Werkstückqualitäten bei wirtschaftlichen Bearbeitungszeiten auch für große Kristallabmessungen sollen daher sowohl für bestehende Fertigungseinrichtungen und -hilfsmittel Prozeßgestaltung und Prozeßführung optimiert als auch Wege zur Weiterentwicklung von Maschinen, Werkzeugen und Verfahren aufgezeigt werden