Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte

Für die moderne Mikroelektronik ist die Frage der optimalen Fertigungsverfahren in vieler Hinsicht noch ungelöst. Mit der Entwicklung der nächsten IC-Generationen wie dem 16-Mbit- und dem 64Mbit-Speicher kommen nicht nur auf die Halbleiterproduzenten, sondern auch auf die Hersteller der Produktionsmittel, d.h. der Fertigungsgeräte und Materialien, Automatisierungskomponenten und reinraumtechnischen Anlagen, neue Herausforderungen zu. Es bedarf gemeinsamer Anstrengungen von Halbleiterherstellern, Forschungseinrichtungen und Geräteherstellern, um die Voraussetzungen für zukünftige Produktionslinien zu schaffen