Dreidimensionale integrierte Schaltung und Verfahren zu deren Herstellung

Die Erfindung bezieht sich auf eine dreidimensionale integrierte Schaltung, die aus mehreren uebereinanderliegenden Bauelementeschichten (S1, S2) aufgebaut ist, sowie auf ein Verfahren zu deren Herstellung. Um bei der elektrischen Kontaktierung durch mehrere Bauelementeschichten der dreidimensionalen Schaltung das Aetzen von Kontaktloechern und die damit auftretenden Probleme zu verhindern, wird gemaess der Erfindung vorgeschlagen, die fuer diese Kontaktierung erforderlichen Kontaktbereiche (7) in einer unteren Schicht bis auf ein Niveau hochzulegen, das der Unterseite der darueberliegenden Bauelementeschicht (S2) entspricht. Nach dem Aufbringen von Polysilizium und anschliessender Kristallisation auf der planarisierten Oberflaeche dieser unteren Bauelementeschicht (S1) werden die Kontaktbereiche (7) mit der darueberliegenden Bauelementeschicht (S2) durch hohes Dotieren der ueber den Kontaktgebieten (7) liegenden Bereiche (12) elektrisch verbunden