Laserunterstütztes Aufdampfen von Mehrlager-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie

Aus Gründen der Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit integrierter Schaltungen werden immer häufiger metallische Sandwich-Strukturen bei der Realisierung der Verbindungsleitungen und der Kontaktbereiche verwendet. Laserstrahlen bieten eine alternative Energiequelle für das Abtragen des abzuscheidenden Targetmateriales (Laserstrahlverdampfen). Die Vorteile des Verfahrens sind: das Fehlen von elektrischen Feldern und von Röntgenstrahlen mit ihren schädlichen Auswirkungen auf die elektrischen Eigenschaften der Bauelemente, die einfache Herstellung der Sandwich-Strukturen durch geeignete Segmentierung des Targets, Verzicht auf toxische Gase, Abscheidung im UHV und damit die Vermeidung von Sauerstoffreaktionen