Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bisher unerreicht hoher Präzision. Bei dieser Technik werden neben speziellen Ätzverfahren verschiedene hochentwickelte Herstellungsverfahren von mikroelektronischen Bauelementen und Schaltkreisen eingesetzt. Die starke Ausrichtung der Mikromechanik auf das Material Silizium und dessen Bearbeitungstechnologien hat sowohl technische als auch wirtschaftliche Gründe. Aus Silizium werden ganz neue Generationen von mechanischen Elementen, zum Beispiel für die Sensorik und Aktorik, mit immer kleineren Abmessungen und erhöhter Leistungsfähigkeit gefertigt. In Kombination mit der Integrierten Optik und der Faseroptik können leistungsfähige periphere ...
Die Mikrosystemtechnik ist dabei, viele Bereiche der Industrie auf ähnliche Weise zu revolutionieren...
Die Mikrosystemtechnik ist zur Zeit eine der innovativsten Technologien mit großen Entwicklungs- und...
Kostengünstige Sensoren werden durch den zunehmenden Einsatz des Mikroprozessors in der Meß-, Automa...
Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit ...
Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit ...
Die Mikromechanik macht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bishe...
Die Mikroelektronik und die Mikrosystemtechnik stellen qualitativ neue Forderungen an die zerstörung...
Mit der fortwährenden Miniaturisierung steigen die Anforderungen an Mikrosysteme hinsichtlich Komple...
Aufgrund des hohen Reinheitsgrads und der Kristallperfektion weist monokristallines Silizium hervorr...
Derzeit befinden sich über ein Dutzend verschiedene Mikropumpen in der Entwicklung. Den meisten ist ...
Bei Mikropumpen gibt es mehrere verschiedene Funktionsprinzipien. Den meisten derzeit in Entwicklung...
Für die vorliegende Studie wurde eine Möglichkeit zur Ermittlung mikromechanischer Strukturen mit De...
Beschrieben wird ein mikromechanisches Stellelement, dessen bewegliches Element aus einer Bimaterial...
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk a...
Im Rahmen der vorliegenden Masterarbeit sollen CMOS-Silizium-Chips mechanisch strukturiert werden, s...
Die Mikrosystemtechnik ist dabei, viele Bereiche der Industrie auf ähnliche Weise zu revolutionieren...
Die Mikrosystemtechnik ist zur Zeit eine der innovativsten Technologien mit großen Entwicklungs- und...
Kostengünstige Sensoren werden durch den zunehmenden Einsatz des Mikroprozessors in der Meß-, Automa...
Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit ...
Die Mikromechanik ermöglicht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit ...
Die Mikromechanik macht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bishe...
Die Mikroelektronik und die Mikrosystemtechnik stellen qualitativ neue Forderungen an die zerstörung...
Mit der fortwährenden Miniaturisierung steigen die Anforderungen an Mikrosysteme hinsichtlich Komple...
Aufgrund des hohen Reinheitsgrads und der Kristallperfektion weist monokristallines Silizium hervorr...
Derzeit befinden sich über ein Dutzend verschiedene Mikropumpen in der Entwicklung. Den meisten ist ...
Bei Mikropumpen gibt es mehrere verschiedene Funktionsprinzipien. Den meisten derzeit in Entwicklung...
Für die vorliegende Studie wurde eine Möglichkeit zur Ermittlung mikromechanischer Strukturen mit De...
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In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk a...
Im Rahmen der vorliegenden Masterarbeit sollen CMOS-Silizium-Chips mechanisch strukturiert werden, s...
Die Mikrosystemtechnik ist dabei, viele Bereiche der Industrie auf ähnliche Weise zu revolutionieren...
Die Mikrosystemtechnik ist zur Zeit eine der innovativsten Technologien mit großen Entwicklungs- und...
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