Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen

Zur Minimierung der Partikelemission in Reinräumen ist es u.a. notwendig, sämtliche reibungsbehafteten Vorgänge, z.B. in Fertigungsgeräten, die zu einer Partikelemission führen, zu optimieren. Einen wesentlichen Beitrag hierzu leistet die Verwendung reinraumtauglicher, d.h. vor allem partikel-emissionsarmer Materialien bzw. Materialpaarungen sowie Schmierstoffe. Die Untersuchung von Materialpaarungen und Schmierstoffen hinsichtlich der Partikelemission erfordert spezielle reinraumgerechte Prüfverfahren und Prüfstände, da die Methoden und Ergebnisse konventionelle Material- bzw. Schmierstoffuntersuchungen für die Reinraumtechnik nicht oder nur sehr eingeschränkten verwendbar sind. Über das Partikelemissionsverhalten vieler bereits heute in der Reinraumtechnik eingesetzter Materialien und Schmierstoffe liegen praktisch keine Erkenntnisse vor. Wie die bisherigen Untersuchungen zeigen, gibt es zwischen verschiedenen Materialpaarungen und bei unterschiedlichen Schmierstoffen z.T. extreme Un terschiede hinsichtlich der Zahl und Größe der emittierten Partikel. Bei Materialpaarungen läßt sich teilweise eine deutliche Verringerung der Partikelgröße mit zunehmender Prüfdauer feststellen. Die Verwendung von Füllstoffen kann eine extrem hohe Partikelemission zur Folge haben. Die Beanspruchung von Materialpaarungen unter Roll- statt Gleitreibung reduziert i.a. die Partikelemission erheblich. Bei Elastomeren, die einer Druck- und Biegewechselbeanspruchung unterzogen werden, gibt es ebenfalls sehr große Unterschiede bei der Partikelemission