Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel

In der Reinraumtechnik werden die meisten Partikelmessungen in der Raumluft unter atmosphärischen Bedingungen durchgeführt. Bei den Messungen ist zwischen Meßorten in der Erstluft und Bereichen, die mit partikelartigen Verunreinigungen, die von Partikelquellen resultieren, zu unterscheiden. Die Partikelquellen zeigen in Abhängigkeit ihres Betriebs kontinuierliches oder diskontinuierliches Verhalten, was anhand von Beispielen erläutert wird. auf die verschiedenen Arten des Partikeleintrags in einen Reinraum und deren Freisetzung als luftgetragene Partikel wird eingegangen. Das zeitliche Verhalten der Partikelquellen wird analysiert und im Hinblick auf die Meßdurchführung und Auswertung diskutiert. Anhand einer theoretischen Betrachtung wird die Partikelabgabe einer Partikelquelle dargestellt und die Auswirkungen des Einsatzes von optischen Partikelzählern diskutiert. Die Konzentrationsmessung mit Hilfe konventioneller optischer Partikelzähler wird bei der Messung an einer Partikelquelle aufgezeigt und die dabei relevanten Meßparameter herausgearbeitet. Auf die bei den Meßgeräten variierbaren Parameter wird nur insoweit eingegangen, als diese für die Durchführung der Messungen von Bedeutung sind. Die Auswirkungen der Meßparameter werden aufgezeigt. Die statistische Auswertung von Meßreihen wird an Beispielen dargestellt und die Entstehung der Konzentrationsverläufe diskutiert. Anhand der vorliegenden Daten wird eine Vorgehensweise bei der Meßdurchführung und der Datenauswertung vorgestellt, die es ermöglicht, zeitoptimiert ein Maximum an Informationen über eine Meßreihe zu gewinnen