Simulation von Mikrosystemen

Die Mikrosystemtechnik (MST), also die Zusammenführung elektronischer und nichtelektronischer Teilsysteme auf engstem Raum, ist eine Schlüsseltechnologie der nächsten Jahre und Jahrzehnte. Für die einzelnen Teilgebiete der Mikrosystemtechnik (Elektronik, Mechanik, Optik, ...) existieren ausgefeilte Modellierungs- und Simulationsmethoden, die eine weitgehende Rechnerunterstützung ermöglichen. Schrittmacher ist dabei wohl die Mikroelektronik gewesen, der Entwicklung eng mit leistungsfähigen CAD-Tools verbunden ist. Aber auch für die zwei- und dreidimensionale Simulation der Verformung mechanischer Körper existieren ausgezeichnete Programmsysteme. Die Modellierung und Simulation von echten Mikrosystemen (MS), also nicht nur die isolierte Betrachtung der einzelnen Teilsysteme, steht dagegen erst am Anfang. Modellierungsmethoden, Beschreibungsmittel und Schnittstellen, genügend allgemeine Simulationsprogramme bzw. gekoppelte Simulatoren, Entwurfsumgebungen und Frameworks müssen erst an die Erfordernisse der MST angepaßt und erheblich weiterentwickelt werden