Monolithische Photosensorsysteme

Die monolithische Integration von Sensoren und Signalverarbeitungskomponenten erlaubt die Herstellung besonders zuverlässiger und kostengünstiger Sensorsysteme. Vor diesem Hintergrund sind insbesondere die Sensoren attraktiv, die ohne oder mit einer nur geringfügigen Modifikation des CMOS-Prozesses gefertigt werden können. Der vorliegende Beitrag stellt zwei CMOS-kompatible Photosensoren und deren Anwendungen in monolithisch integrierten Sensorsystemen vor