VORRICHTUNG ZUR MESSUNG MECHANISCHER KRAEFTE UND KRAFTWIRKUNGEN

Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Messung mechanischer Kraefte und Kraftwirkungen, die mittels mikromechanischer Prozesse herstellbar ist. Unter dem Einfluss einer mechanischen Kraft wird eine bewegliche Masse gegen den Widerstand eines Rueckstellelements ausgelenkt. Fuer viele Anwendungen muessen solche Vorrichtungen unempfindlich gegen mechanische Ueberbeanspruchung sein. Bei bekannten Loesungen wird der Ueberlastschutz durch meschsnische Anschlaege erreicht, die den Ausschlag der Masse begrenzen. Bei monolithisch integrierten Vorrichtungen bedeutet dies, dass ein zusaetzliches Element an der Vorrichtung angebracht werden muss. Die hier vorgestellte Vorrichtung weist Elemente zur mechanischen Begrenzung von Ausschlaegen der Masse auf, die gemeinsam mit den uebrigen Elementen monolithisch integriert werden koennen. Die Elemente sind als ineinanderfassende Zungen ausgebildet, die bewegungsbegrenzende Brueckenstrukturen aufweisen