Technologie der Ultraschallbearbeitung sprödharter Werkstoffe

Der erfolgreiche Einsatz sprödharter Werkstoffe ist in starkem Maße an die Effizienz der zur Verfügung stehenden Nach- bzw. Endbearbeitungsverfahren gebunden. Aufgrund ihrer werkstoffspezifischen Eigenschaften können nur bedingt Fertigungsverfahren mit geometrisch bestimmter Schneide eingesetzt werden. Für eine Endbearbeitung stehen daher zur Zeit fast ausnahmslos nur die etablierten Bearbeitungsverfahren wie Schleifen, Läppen und Polieren zur Verfügung. Wird jedoch von Kundenseite neben der Fertigung einfacher Formelemente auch die Herstellung komplexen und filigraner Konturen gefordert, so scheiden diese Technologien vielfach aus. Das Ultraschallschwingläppen bietet in diesem Zusammenhang ein großes Potential, das Spektrum der herstellbaren Geometrieelemente bzw. Produkte aus sprödharten Werkstoffen zu erweitern. Mit Hilfe dieser Technologie können diese Materialien sowohl abbildend als auch formgebend bearbeitet werden. Aus der Tatsache, daß im Gegensatz zum Schleifen nicht mit eine m gebundenen sondern mit einem losen Läppkorn als Wirkmedium gearbeitet wird, resultiert ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens.- die minimalen Bearbeitungskräfte. Bedingt durch diesen Umstand wird dem Anwender ein Instrumentarium an die Hand gegeben, daß ihm eine schädigungsarme und somit qualitativ hochwertige Endbearbeitung von hochempfindlichen, sprödharten Werkstoffen ermöglicht. Dies gilt insbesondere für Fertigungsaufgaben, die bis heute infolge ungeeigneter Bearbeitungsverfahren nicht gelöst werden konnten. Zu nennen sind hier beispielsweise die Herstellung mm) sowie feinster Strukturen (u.a. Stegbreiten < 0,2 mm) sowie die Konturbearbeitung von Substraten mit einer Dicke kleiner 500 µ