Intelligente Sensoren mit integrierter Ausleseelektronik

Das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS) in Duisburg/Dresden mit mehr als 250 Mitarbeitern bietet eine breite Palette von mikromechanischen Sensoren und verschiedene Sensorausleseschaltungen an. Eines der wesentlichen Merkmale dieser Sensoren mit integrierter Ausleselektronik ist die Fertigung auf einem Chip in einem Standard-Silizium-CMOS-Prozeß, der nur durch einige wenige Zusatzprozeßschritte ergänzt wird. Mit den im Fraunhofer IMS verwendeten CMOS-Prozessen werden auch ASICs für verschiedenste Industriekunden in kleinen bis mittleren Stückzahlen gefertigt. Dieses System-on-Chip-Design führt zu kleinsten Abmessungen, einem höchsten Maß an Zuverlässigkeit und einem guten Preis-Leistungsverhältnis